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超精密加工技术不断更新，加工精度不断提高，各国之间的研究侧***有所不同，但促进超精密加工发展的因素在本质上是相同的。加工变质层的化学性质活泼，易受腐蚀，所以从提高零件耐腐蚀能力的角度出发，要求加工产生的变质层尽量小。加工系统的系统误差和随机误差都应控制在 0.1微米级或更小。这些条件是靠综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统和计算机控制等各种***技术获得的。

加工精度以纳米，甚至终以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，切削加工方法已不能适应，需要借助特种加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的结合能，从而去除工件表面的部分原子间的附着、结合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。

精密机械零件加工是机械加工的一种，只是它在进行加工时的误差要求更高，而且在加工工艺上要求更严，随着现代工业的发展和需求的不断的变化，精密机械加工已经是多方面的发展，它发展的方向越来越广，方向也就越来越细，方向发展也就越来越多的呈现出它的***化，随着科技的发展它的技术也不断的提高，加工的质量和精l确度也越来越高。